自動車、医療、FAといった分野をはじめ、洗濯機、掃除機などの民生機器にも幅広く使われている圧力センサ。今後数年の伸び率も二桁成長が見込まれている有望製品です。圧力センサとは、気体や液体の圧力をダイヤフラム(薄い弾性の隔膜)を介して感圧素子で計測し、電気信号として出力するセンシングデバイスであり、検出原理としては静電容量式やピエゾ抵抗式などがあります。
静電容量式圧力センサは、可動電極となるダイヤフラムと固定電極とを対向させてコンデンサを形成し、外部からの圧力を受けてダイヤフラムが変形することで生じる静電容量の変化を電気信号に変換します。一方のピエゾ抵抗式の圧力センサは、ダイヤフラムの表面にピエゾ抵抗素子を形成し、外部からの圧力によってダイヤフラムが変形することで生じるピエゾ抵抗素子の電気抵抗の変化(ピエゾ抵抗効果)を電気信号に変換する仕組みです。
アルプスでは圧力センサの第一弾製品として、まず静電容量式を開発し、さらにピエゾ抵抗式の開発にも取組んでいます。静電容量式は省電力や高感度を特長とするため、自動車のTPMS(タイヤ空気圧モニタリングシステム)や血圧計などの用途に適し、またピエゾ抵抗式はシンプルな素子構造のため、小形・薄形化に適していることから、携帯機器などの小形アプリケーションをはじめ多様な用途に適用可能です。アルプスでは今後、この両方式の特性を活かした適用分野を広げていく計画です。
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さまざまな用途に活用できる圧力センサ |
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